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集成电路材料生产应用示范平台研讨及工艺技术培训会召开

时间:2018-12-07 来源:未知 作者:admin 点击:
12月1日,“集成电路材料生产应用示范平台研讨及工艺技术培训会”在江苏常州成功召开,会议由中国电子材料行业协会和电子化工新材料产业联盟联合主办,常州强力电子材料股份有限公司协办。
   

     121日,“集成电路材料生产应用示范平台研讨及工艺技术培训会”在江苏常州成功召开,会议由中国电子材料行业协会和电子化工新材料产业联盟联合主办,常州强力电子材料股份有限公司协办。工信部原材料司石化处调研员罗其明、中国电子材料行业协会高级顾问袁桐,中国电子材料行业协会常务副秘书长、电子化工新材料产业联盟秘书长鲁瑾,中芯国际北方集成电路创新中心总经理康劲、无锡华润上华科技有限公司副总经理苏巍、中芯国际北方集成电路创新中心经理刘庆修,常州强力电子新材料股份有限公司董事长钱晓春、总经理李军等出席了培训会,中船重工718所、苏州晶瑞、上海新阳、安集微电子、湖北兴福、广东华特、中巨芯、湖北鼎龙等相关企业代表共计逾120人参加了此次培训会。 

“集成电路材料生产应用示范平台研讨及工艺技术培训会”会议现场 

集成电路材料生产应用示范平台是国家新材料生产应用示范平台建设项目三大建设平台之一,承载了实现材料与终端产品同步设计、系统验证、批量应用等协同联动的重要作用。举办此次培训会旨在为建设好集成电路材料生产应用示范平台,推动电子材料企业对集成电路高端制造、品质保证、原材料应用和评估体系的深入了解,突破关键领域新材料共性应用技术。

会议由中国电子材料行业协会鲁瑾常务副秘书长主持。会上首先由工信部原材料司石化处副调研员罗其明为本次会议致辞,他强调,工信部一直非常重视集成电路材料的发展, 从政策方面,2017年,制定了重点新材料首批次应用保险补偿机制,旨在运用市场化手段,对新材料应用示范的风险控制和分担作出制度性安排,突破新材料应用的初期市场瓶颈,激活和释放下游行业对新材料产品的有效需求。2018年,工信部开展并启动了集成电路材料生产应用示范平台建设项目,该项目由中芯国际牵头,十六家材料企业参与申报,并已中标公示。 

工信部原材料司石化处副调研员罗其明作会议致辞 

同时他指出,目前集成电路材料行业特别是高端产品与国际先进技术差距明显,材料企业生产的材料进入下游门槛较高,验证周期长,很大程度上因为国内材料企业民营企业居多、规模偏小、产品较单一,而下游企业往往希望同产品种类丰富、规模大、质量稳定的企业进行合作。针对目前行业存在的问题,他表示,今后希望通过联盟将制定的各种政策宣传贯彻下去,充分发挥好电子化工新材料产业联盟的平台作用,以促进产业更好更快的发展。

中芯国际北方集成电路创新中心总经理康劲作会议报告 

会上,首先由中芯国际北方集成电路创新中心总经理康劲在会上作《材料生产应用示范平台方案及建设思路》报告。他表示,集成电路工艺用材料生产应用示范平台项目的建设将依托中芯国际大生产线及创新中心中试线,建设集成电路大生产线大数据应用系统、集成电路材料国产化联合开发和测试验证平台。旨在实现:①缓解并逐步解决集成电路材料领域“卡脖子”问题,支撑集成电路产业国产化替代、自主可控等目标的实现;②促进集成电路产业链协同发展,建立产学研协同机制,助力集成电路制造上下游企业发展;③协助大生产线提升供应链安全并实现成本降低。

无锡华润上华科技有限公司副总经理苏巍作大会培训报告 

接着,无锡华润上华科技有限公司副总经理苏巍作《半导体集成电路工艺介绍》培训报告。苏巍副总经理分别从光刻工程、干法腐蚀、炉管与扩散、化学气相淀积、物理气相淀积、离子注入、化学机械研磨、湿法清洗与腐蚀等八大模块进行了详细讲解。

随后,中芯国际北方集成电路创新中心经理刘庆修作《物料质量管控介绍》报告。报告中他强调,半导体的质量无小事。同时,他对原物料质量重要性、新物料质量评估流程、质量管控手法等都进行了详细的介绍。

鲁瑾常务副秘书长主持会议并进行了大会总结发言 

最后,鲁瑾常务副秘书长对技术培训会进行总结。她表示,目前我国集成电路产业链最薄弱的环节在于材料和装备,希望通过学习材料企业对集成电路生产工艺流程、及各环节应用关键材料、下游芯片厂商对材料的质量要求、验证流程等有更清晰了解,更针对性地不断努力,加快技术创新与研发,逐步加强集成电路产业链安全保障。

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