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- 半导体材料
18BF-4M7D
| 18BF-4M7D（DMP） 快速减薄替代双面铜抛，上下盘制冷，下盘驱动采用动压轴承，对于TTV、LTV有很好的效果
18BF-4M7P（CMP） 快速抛光，修正TTV及表面Ra设备具备上下盘双盘控温功能，可精确控制设备上下加工温度并控制盘面的热膨胀度，充分发挥抛光液的化学机械平衡作用（抛光布和抛光液使用度高）
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公司名称：苏州博宏源机械制造有限公司
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