《集成电路刻蚀设备用石英环》等三项团体标准网上公示并公开征集参与单位的公告
 
      依据《中国电子材料行业协会团体标准管理办法》的规定，《集成电路刻蚀设备用石英环》、《半导体硅片清洗用石英槽》、《集成电路扩散设备用石英外管》3项团体标准（附件1）已经通过专家立项评审，现予公示。并公开征集标准制修订工作参与单位。

公示日期:  2023年10月10日- 2023年10月20日。
如对立项标准有异议，请在公示期内将意见以书面形式向联系人进行反馈，有意向参与标准制修订工作的单位请向协会标准化工作部提出申请（填报附件2）。

中国电子材料行业协会标准化工作部
联系人：权美子  15801120590
邮箱：qmz@cemia.org.cn
中国电子材料行业协会石英材料分会
联系人：杨家茂  13911073926
邮箱：yjm@cemia.org.cn
 
附件1：拟立项标准
附件2：参与CEMIA团体标准制修订工作申请表