中国电子材料行业协会关于《半导体制程用8英寸(200mm)
12英寸(300mm)石英玻璃炉管》团体标准征求意见的函
各有关单位及专家:
        根据中国电子材料协会团体标准制修订工作计划安排,由上海强华实业股份有限公司牵头起草的团体标准《半导体制程用8英寸(200mm)12英寸(300mm)石英玻璃炉管》已完成征求意见稿的编制,现公开征求意见。
       请各有关单位和专家认真阅读标准文本,按照《CEMIA团体标准征求意见表》的要求汇总反馈意见;并于2021年9月22日前以邮件的形式反馈至联系人。
       如对技术指标有重大意见,请书面说明论据或提出技术经济论证;如认为标准涉及专利,在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上;逾期未反馈意见视为无意见。

联系人:蓝呈
电话:18321012367
邮箱:lc@qhquartz.cn

附件:
1. CEMIA2020-1-01 半导体制程用8英寸(200mm)12英寸(300mm)石英玻璃炉管—征求意见稿
2. CEMIA2020-1-01 半导体制程用8英寸(200mm)12英寸(300mm)石英玻璃炉管—编制说明
3. CEMIA团体标准征求意见表

 
                             中国电子材料行业协会
                                2021年8月18日