中国电子材料行业协会关于《半导体制程用8英寸（200mm）
12英寸（300mm）石英玻璃炉管》团体标准征求意见的函
 
各有关单位及专家：
        根据中国电子材料协会团体标准制修订工作计划安排，由上海强华实业股份有限公司牵头起草的团体标准《半导体制程用8英寸（200mm）12英寸（300mm）石英玻璃炉管》已完成征求意见稿的编制，现公开征求意见。
       请各有关单位和专家认真阅读标准文本，按照《CEMIA团体标准征求意见表》的要求汇总反馈意见；并于2021年9月22日前以邮件的形式反馈至联系人。
       如对技术指标有重大意见，请书面说明论据或提出技术经济论证；如认为标准涉及专利，在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上；逾期未反馈意见视为无意见。

联系人：蓝呈
电话：18321012367
邮箱：lc@qhquartz.cn

附件：
1. CEMIA2020-1-01 半导体制程用8英寸（200mm）12英寸（300mm）石英玻璃炉管—征求意见稿
2. CEMIA2020-1-01 半导体制程用8英寸（200mm）12英寸（300mm）石英玻璃炉管—编制说明
3. CEMIA团体标准征求意见表

 
                             中国电子材料行业协会
                                2021年8月18日