关于批准发布《半导体制程8英寸（200mm）12英寸（300mm）用石英玻璃炉管》团体标准的公告
 
 
         中国电子材料行业协会批准发布《半导体制程8英寸（200mm）12英寸（300mm）用石英玻璃炉管》的团体标准，现予以公布（见附件）。


附件1:  发布团体标准
序号 团体标准编号 团体标准名称 实施日期
1 T/CEMIA 033-2023 半导体制程8英寸（200mm）12英寸（300mm）用石英玻璃炉管 2023-9-08


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